Kuuma sinkkisumutuskone
Lämpöhaihdutus käsittää kiinteän materiaalin kuumentamisen, jota käytetään substraatin päällystämiseen korkeatyhjiökammion sisällä, kunnes se alkaa kiehua ja haihtuu tuottaen höyrynpainetta. Tyhjiöpinnoituskammion sisällä suhteellisen alhainenkin höyrynpaine riittää nostamaan höyrypilven. Tämä haihtunut materiaali muodostaa nyt höyryvirran, jonka tyhjiö sallii kulkea ilman, että se reagoi tai hajoa muita atomeja vastaan. Se kulkee kammion läpi ja osuu alustaan tarttuen siihen pinnoitteena tai ohuena kalvona.
Terminen haihdutus ja lämpöhaihdutusprosessi
Lämpöhaihdutus sisältää kiinteän materiaalin kuumentamisen, jota käytetään substraatin päällystämiseen korkeatyhjiökammion sisällä, kunnes se alkaa kiehua ja haihtuu tuottaen höyrynpainetta. Tyhjiöpinnoituskammion sisällä suhteellisen alhainenkin höyrynpaine riittää nostamaan höyrypilven. Tämä haihtunut materiaali muodostaa nyt höyryvirran, jonka tyhjiö sallii kulkea ilman, että se reagoi tai hajoa muita atomeja vastaan. Se kulkee kammion läpi ja osuu alustaan tarttuen siihen pinnoitteena tai ohuena kalvona.
Lähdemateriaalin lämmittämiseen lämpöhaihdutuksen aikana on kaksi ensisijaista menetelmää. Yksi tunnetaan filamenttihaihdutuksena, koska se saavutetaan yksinkertaisella sähkölämmityselementillä tai filamentilla. Toinen yleinen lämmönlähde on elektronisuihku tai E-Beam Evaporation, jossa elektronisuihku suunnataan lähdemateriaaliin haihduttamaan se ja siirtymään kaasufaasiin.
Ohutkalvohöyrystysjärjestelmät voivat tarjota etuja suhteellisen korkeista kerrostumisnopeuksista, reaaliaikaisesta nopeuden ja paksuuden hallinnasta ja (sopivalla fyysisellä konfiguraatiolla) hyvästä haihdutussuihkun suunnansäädöstä prosesseissa, kuten Lift Off suorakuvioitujen pinnoitteiden saavuttamiseksi.
Parametri
Sovellus
Yrityksemme
Suositut Tagit: kuumasinkkiruiskukone, Kiina, toimittajat, valmistajat, tehdas, räätälöity, osta, hinta, tarjous
Lähetä kysely
