Nykyaikaisen tyhjiöpinnoituskoneen kalvon paksuuden mittaus- ja seurantamenetelmä

Suorin pinnoitteen säätömenetelmä on Kvartsikristallimikrobalanssimenetelmä (QCM), joka voi suoraan ajaa haihdutuslähdettä ja kiertää levyä PID-ohjauksen kautta haihtumisnopeuden ylläpitämiseksi. Niin kauan kuin instrumentti on kytketty järjestelmän ohjausohjelmistoon, se voi hallita koko pinnoitusprosessia. Mutta (QCM: n) tarkkuus on rajallinen, osittain siksi, että se seuraa talletettavan pinnoitteen laatua optisen paksuuden sijaan.

Lisäksi, vaikka QCM on erittäin vakaa alemmissa lämpötiloissa, siitä tulee erittäin lämpötilaherkkä korkeammissa lämpötiloissa. Pitkäaikaisen lämmityksen aikana on vaikea estää anturia putoamasta tälle herkälle alueelle, mikä aiheuttaa merkittäviä virheitä kalvossa.

Optinen seuranta on erittäin tarkkojen pinnoitteiden ensisijainen seurantamenetelmä, koska se mahdollistaa kerroksen paksuuden tarkemman hallinnan (jos sitä käytetään oikein). Tarkkuuden paraneminen johtuu monista tekijöistä, mutta perustavanlaatuisin syy on optisen paksuuden seuranta.

OPTIMAL SWA-I-05-yhden aallonpituuden optinen seurantajärjestelmä ottaa käyttöön epäsuoran mittauksen ja ohjauksen yhdistettynä dr. Wangin kehittämään edistyneeseen optiseen seurantaohjelmistoon, jotta voidaan tehokkaasti parantaa optisen vasteherkkyyden teoriaa ja menetelmää kalvon paksuuden muutoksiin lopullisen virheen vähentämiseksi, antamalla palautetta tai lähetystilojen valinnasta ja laajasta valikoimasta seuranta-aallonpituuksia. Se soveltuu erityisen hyvin eri kalvopaksuuksien pinnoitusvalvontaan, mukaan lukien epäsäännöllinen kalvon seuranta.