Tyhjiöpäällystyskoneen mekanismin suorituskyky

Ongelmia, joita esiintyy olemassa olevan optisen tyhjiöpäällystyskoneen vertailukalvomekanismin käytössä, analysoidaan. Nykyaikaisen optisen tyhjiöpäällystyskoneen kehityssuunnan ja varsinaisessa tuotannossa kiireellisesti ratkaistavien ongelmien mukaan erilaisten tutkimusten ja analyysien avulla optimoidaan uuden sukupolven pinnoituskoneen suunnittelu kalvon rakenteen vertaamiseksi, ja ratkaista ongelmat, jotka vaikuttavat optisten ohutkalvojen ja ultra-monikerroksisen tarkkuusoptisen ohutkalvopinnoitteen laatuun. Kalvon valvontatarkkuuden parantamiseksi toteuttaa järjestelmän automaattinen ohjaus, parantaa optisen tyhjiöpäällystyskoneen tuotantotehokkuutta ja vähentää tuotantokustannuksia. Tee nykyaikaisen optisen tyhjiöpäällystyskoneen rakennekokoonpano ja käyttövaikutus parhaan saavuttamiseksi.

1980-luvulta lähtien maailmanlaajuinen optoelektroninen tekniikka on kehittynyt ja edistynyt nopeasti. Kotimaani optisten tyhjiöpäällystyskoneiden tutkimus ja kehitys on myös kehittynyt nopeasti käyttöönoton, sulatuksen ja imeytymisen perusteella. Viimeisten kahden vuosikymmenen aikana kotimaastani on vähitellen tullut maailmanlaajuisten optisten tuotteiden jalostuspohja. Optisten tuotteiden avainprosessina se on myös viimeinen prosessipinnoite, ja vaatimukset kasvavat koko ajan. Myös tyhjiöpäällystyskoneiden suorituskykyä ja konfiguraatiota on vahvistettava ja parannettava. Ongelmia, kuten laitteiden laatu, laitteiden suorituskyvyn parantaminen ja tuotannon tehokkuuden parantaminen, on ilmaantunut, jotka liittyvät tällaisten laitteiden muuntamiseen, suunnitteluun ja kehittämiseen, jotka vaativat asianmukaista teknistä henkilöstöä ratkaisemaan.

Tyhjiöpäällystyskoneen vertailumekanismi on tämän tyyppisten laitteiden välttämätön avainkomponentti. Huippuluokan laitteilla on yhä korkeammat vaatimukset vertailumekanismille. Tyhjiöteknologiaverkosto uskoo olevansa tärkeä rooli monikerrospinnoitteen havaitsemisessa ja tuotantotehokkuudessa. korvaamaton rooli. Seuraavassa on vertaileva analyysi tyhjiöpäällystyskoneen vertailukalvomekanismin käytön ongelmista sekä rakenteesta optimoinnin ja innovatiivisen suunnittelun jälkeen.

1. Nykyinen tyhjiöpäällystyskone vertaa kalvomekanismia

Yhteinen pinnoituskoneen vertailulevyrakenne

Kotimaiset halvemmat tyhjiöpäällystyskoneet, kehityksen alusta noin 10 vuoteen, käyttävät enimmäkseen edelleen tätä vertailevaa kalvorakennetta, kuten kuvassa 1. Tämä vertailukappaleiden transponointimekanismi koostuu yleensä kuudesta itsenäisestä vertailukappaleesta, joiden halkaisija on Φ22 mm, kuten kuvassa 1(b). Mekanismi koostuu pääasiassa alustasta 16, kolmesta tukitangosta 110 ja vertailulevystä 18, kuten kuviossa 1(a) esitetään, kolme tukitankoa 110 kiinnittävät ja tukevat alustaa 16, ja vertailulevystä 18. on lähellä alustaa 16. Hammaspyörästön kahvan liiketulo pyörittää siipiä, ja näiden kolmen yhdistelmä viimeistelee siiven vaihdon. Koska yleisen päällystyskoneen tyhjökammion halkaisija ei ole suuri, koko mekanismin halkaisija (Φ124mm) on suhteellisen suuri verrattuna, mikä johtaa suhteellisen pieneen pinta-alaan pinnoitettuja työkappaleita, jotka voidaan ladata työkappalelevylle, ja mekanismi voi sijoittaa vain 6 vertailua Sheet 13, mikä vaikuttaa suoraan tuotannon tehokkuuteen.

Tämän rakenteen ominaisuudet ovat: yksinkertainen rakenne, kätevä käsittely ja valmistus, kätevä ja helppo asennus ja toteutus. Haitat: Rakenteen halkaisija ja pinta-ala ovat suhteellisen suuret, mikä vaikuttaa kuormitettujen työkappaleiden määrään; sijoitettujen pariteettitablettien määrä on pieni, mikä vähentää tuotannon tehokkuutta; lujuus ja jäykkyys ovat rajalliset, ja koska rakenne on täysin esillä tyhjiökammiossa, korkean lämpötilan sputteroivien hioma-aineiden vaikutus tyhjiökammioon, tehdä pyörimisestä vakaa ja joustava, toistuvan siirtoasennon johdonmukaisuusvirhe on suuri, ja siivous ja huolto ovat usein