Useita syitä, miksi tyhjiöpinnoituskone on liian hidas

Syy siihen, miksi tyhjiöpinnoituskone on liian hidas, johtuu pääasiassa seuraavista näkökohdista:

Ensinnäkin diffuusiopumppu ei ehkä ole kovin tehokas.

Ratkaisu: Voit käyttää ionisaatiomittaria yhteyden muodostamiseen diffuusiopumpun pumppuporttiin nähdäksesi, kuinka paljon diffuusiopumppu voi pumpata yksin pumppausajasta ja -rajasta riippuen, ja verrata sitten.

2. Tyhjiöjärjestelmässä on pieni vuoto.

Ratkaisu: Tämä edellyttää hidasta vuotojen havaitsemista, jotta nähdään, täyttääkö tyhjiön pidätysaika standardin.

3. Laatikko on liian likainen, ja ilman tilavuus on suuri, jos se on liian likainen.

Ratkaisu: puhdista laatikko

Neljänneksi etuvaiheen tyhjiöaste ei ole hyvä, ja mekaanisen pumpun tai mekaanisen pumpun ja juuripumpun lopullinen tyhjiö ei ole hyvä.

Ratkaisu: Voit käyttää vastusmittaria etulinjan putkilinjan havaitsemiseen erikseen.