PVD-pinnoituskone

Tyhjiöpäällystyskone koostuu yleensä kolmesta osasta: tyhjiökammiosta, tyhjiöyksiköstä ja sähköisestä ohjauskaapista. Mikä on tämän koneen toimintaperiaate? Katsotaanpa tänään.

1. Tyhjiöpäärunko - Tyhjiökammion koko vaihtelee käsiteltyjen tuotteiden vaatimusten mukaan. Tällä hetkellä yleisimmin käytetyt halkaisijat ovat 1,3M, 0.9M, 1,5M, 1,8M jne. Kammio on valmistettu ruostumattomasta teräksestä. , joka ei vaadi ruostetta, lujuutta jne., jokaisessa alipainekammion osassa on liitäntäventtiili, jota käytetään jokaisen ilmapumpun kytkemiseen.

2. Apupakojärjestelmä: Pakojärjestelmä on tärkeä osa tyhjiöpäällystyskoneen alipainejärjestelmää, joka koostuu pääasiassa kolmesta osasta: mekaanisesta pumpusta, tehostinpumpusta ja öljyn diffuusiopumpusta. Tämä pakojärjestelmä koostuu "diffuusiopumpusta plus mekaanisesta pumpusta plus juuripumpusta sekä kryogeenisesta kylmäluukusta ja polycoldista". Poistoprosessi on seuraava: mekaaninen pumppu tyhjentää ensin tyhjiökammion matalaan tyhjiötilaan, joka on alle 2, 0*10-2PA, mikä muodostaa lähtökohdan diffuusiopumpun myöhempään tyhjennykseen, ja sitten kun diffuusiopumppu tyhjentää tyhjiökammion, mekaaninen pumppu toimii yhteistyössä öljyn diffuusiopumppu on muodostettu sarjaan pumppaustoiminnan loppuun saattamiseksi tällä tavalla.

Sovellus

Parametri

Yrityksemme

Suositut Tagit: pvd-pinnoituskone, Kiina, toimittajat, valmistajat, tehdas, räätälöity, osta, hinta, tarjous