Spin pinnoituskone

Keskitaajuinen sputterointi on myös eräänlaista magnetronisputterointia.

Magnetronisputterointia on monen tyyppisiä, jotka voidaan jakaa DC-magnetroniruiskutukseen, radiotaajuiseen magnetronisputterointiin ja keskitaajuiseen magnetronisputterointiin käytetyn virtalähteen mukaan. Tasavirtamagnetronisputteroinnissa käytetty virtalähde on DC-korkeajännitevirtalähde, yleensä 300-1000 V, jolle on ominaista nopea sputterointinopeus, alhaiset kustannukset ja halpa huolto myöhempänä ajankohtana. Kuitenkin vain metallisia kohteita voidaan sputteroida. Jos kohde on eriste, sputteroinnin edetessä kohde kerääntyy suuren määrän varausta, mikä johtaa siihen, että sputterointi ei voi jatkua. Siksi DC-magnetronisputterointia käytetään yleensä metallikohteissa. Alhaisten kustannustensa ja yksinkertaisen rakenteensa ansiosta sitä käytetään laajalti teollisuudessa. RF-magnetronisputteroinnissa käytettävän RF-virtalähteen taajuus on yleensä 13,56 MHz, mikä voi ratkaista ongelman, että DC-magnetroniruiskutus ei voi sputteroida eristäviä kohteita. RF-magnetronisputteroinnin ominaisuudet ovat: sekä eristäviä kohteita että metallikohteita voidaan sputteroida, ja kalvon ja alustan välinen adheesio on vahva. Monimutkaisen rakenteen ja laitteen, RF-virtalähteen korkean hinnan, korkeiden ylläpitokustannusten, ihmiskehoon kohdistuvan säteilyn ja ulkoisen sovitusverkon tarpeen vuoksi se ei kuitenkaan sovellu teolliseen tuotantoon. Keskitaajuista magnetronisputterointia käytetään usein reaktiiviseen sputterointiin metalliseoskalvojen valmistukseen. Argonin lisäksi onteloon lisätään pieni määrä reaktiivisia kaasuja, kuten typpeä, happea jne. näiden reaktiivisten kaasujen molekyylien kerrostamiseksi kohdemateriaalin atomien kanssa. alustalle metalliyhdistekalvon muodostamiseksi. Koska DC-magnetronisputterointia käytetään laajalti teollisuudessa, magnetronisputterointipöytä sisältää tyhjiöjärjestelmän, sputterointipinnoitusjärjestelmän, kaasun ja ohjausjärjestelmän.

Sovellus

Parametri

Yrityksemme

Suositut Tagit: spin-pinnoituskone, Kiina, toimittajat, valmistajat, tehdas, räätälöity, osta, hinta, tarjous